类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究

摘要

利用同步辐射光电子能谱全电子产额模式(TEY)对石墨、金刚石薄膜和类金刚石薄膜(DLC)的ClsX射线吸收谱进行了研究.在高真空里表面净化处理后,在类金刚石薄膜的Cls吸收谱中分别观察到对应于金刚石sp3杂化结构成分和石墨sp2杂化结构成分的特征峰,说明了类金刚石薄膜是由碳sp2、sp3两种杂化结构无序混合形成的非晶碳结构;然后,测量了一系列类金刚石薄膜样品的Cls X射线光电子能谱(XPS),得到了每组样品的sp2/sp3成分比.