首页> 中文期刊> 《核技术》 >复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC膜性能研究

复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC膜性能研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

团队文献服务 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

结合中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺,制备了Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬质膜.硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和Cr的TiNC,力学性能良好.

著录项

来源
《核技术》 |2008年第2期|111-114|共4页
作者
马胜歌; 于大洋; 杨宏伟; 张以忱;
展开▼
作者单位

深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心,深圳,518029;

东北大学机械工程及自动化学院,沈阳,110004;

深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心,深圳,518029;

东北大学机械工程及自动化学院,沈阳,110004;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质 ; 薄膜技术 ; 真空镀与气相镀法 ;
关键词
类金刚石膜 ; 多层膜 ; 非平衡磁控溅射 ; 电弧离子镀 ; V射线光电子能谱仪;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. PECVD制备DLC复合薄膜性能及模具应用 [J] . 张而耕 ,陈强 . 表面技术 . 2019 ,第1期
2. 硬质合金钻具表面制备W-DLC薄膜性能研究 [J] . 詹华 ,李振东 ,沙笛 . 新技术新工艺 . 2015 ,第006期
3. 氮化复合DLC薄膜的制备和性能研究 [J] . 黄振 ,郭媛媛 ,刘磊 . 辽宁科技大学学报 . 2019 ,第004期
4. CrN/DLC复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究 [J] . 李福球 ,林松盛 ,林凯生 . 电镀与涂饰 . 2017 ,第001期
5. 基于复合靶制备Ti-DLC薄膜的研究 [J] . 李传志 ,徐均琪 ,严一心 . 材料导报：纳米与新材料专辑 . 2008 ,第001期
6. 复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC膜性能研究 [C] . 马胜歌 ,于大洋 ,杨宏伟 . 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议 . 2006
7. 电弧离子镀 (Cr, Al)N及(Cr, Al)N-DLC硬质薄膜的制备及其弹韧性研究 [A] . 莫亚杰 . 2020

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号