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刘江峰; 包良满; 李晓林;
中国科学院上海应用物理研究所,上海,201800;
信阳师范学院,信阳,464000;
微结构; 质子束刻写; 无掩模; 光刻胶;
机译:高能激光加速高能质子束聚焦和聚焦半球锥靶的动力学
机译:砷化镓中的无掩模质子束写入
机译:MeV离子束无掩模辐照的三维微细加工:质子束微加工
机译:高能聚焦离子束无掩模微加工
机译:通过聚焦离子束无掩模制造结型场效应晶体管。
机译:使用电子束光刻写入的相位掩模通过近场全息术制造的软X射线变化线间隔光栅
机译:通过聚焦氧离子束掩模金刚石的无掩模铣削
机译:使用和无源光源阵列以及聚焦元件阵列的无掩模光刻系统和方法。
机译:在激光驱动质子束治疗过程中产生高能质子束的装置,使用脉冲高电磁线圈进行能量选择,输送用于准直的质子束
机译:用于投影曝光系统的聚焦测试掩模,使用该聚焦测试掩模的聚焦监视系统以及聚焦监视方法
机译:无掩模曝光装置,无掩模曝光方法以及由该无掩模曝光装置和无掩模曝光方法制造的显示基板
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