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X射线对金硅界面剂量增强效应的模拟研究

     

摘要

本文以光子与物质的相互作用机制为基础,论述了剂量增强效应的基本原理.用蒙特卡罗方法研究了金和硅交界时X射线入射产生的剂量梯度分布,通过MCNP5程序建立了一个三维的金硅界面结构模型,计算了不同厚度的金在金硅界面的剂量增强因子.计算结果表明:当X射线为30-300 keV时,界面附近硅一侧存在较大的剂量增强效应.金的厚度影响界面附近的剂量增强效果,当金的厚度为0-10 μm时,剂量增强因子随金的厚度增大;当金的厚度超过10 μm后,剂量增强因子随金厚度的增加而减少.

著录项

  • 来源
    《核技术》|2013年第6期|8-13|共6页
  • 作者单位

    新疆大学物理科学与技术学院 乌鲁木齐830046;

    中国科学院新疆理化技术研究所 乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011;

    中国科学院新疆理化技术研究所 乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011;

    中国科学院新疆理化技术研究所 乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011;

    中国科学院新疆理化技术研究所 乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011;

    新疆大学物理科学与技术学院 乌鲁木齐830046;

    中国科学院新疆理化技术研究所 乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011;

    中国科学院新疆理化技术研究所 乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011;

    中国科学院新疆理化技术研究所 乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011;

    中国科学院新疆理化技术研究所 乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 原子能技术的应用;
  • 关键词

    蒙特卡罗方法; 剂量增强因子; 界面; 能量沉积; 体元;

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