高精度气浮支承转动平台结构设计及精度测试

摘要

针对中国散裂中子源(Chinese Spallation Neutron Source,CSNS)多功能反射谱仪反射臂对重负载、大行程及高精度的运动要求,采用气浮支承加摩擦轮驱动的组合结构.先通过气浮支承实现反射臂与地面之间无接触无摩擦,再通过摩擦轮驱动实现反射臂绕着样品台中心进行精确定位运动.为验证该方案的可行性进行气浮支承转动平台样机的研制,并通过对气浮支承转动平台的精度测试得知在全行程范围内其单向重复定位精度为0.000 31°,单向定位精度为0.0009°.试验结果表明气浮支承加摩擦轮驱动的结构能够满足多功能反射谱仪反射臂的运动要求.