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基于静电探针测量对双潘宁离子源的弧特性研究

         

摘要

本文介绍了采用静电探针的逐点测量法和锯齿波扫描测量法来测量离子源放电中等离子体参数,在此基础上利用静电探针所测量的离子饱和流信号作为控制部分反馈变量,使用闭环控制对22厘米双潘宁离子源的等离子体进行调节,并且利用探针所测量的结果对弧特性进行了初步的分析.

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