金刚石薄膜的生长机理及其结构特性检测

摘要

在金刚石薄膜生长技术一文中，本文作者就几种最有代表性的合成方法作了评述，并列出每种方法的合成条件和参数。本文主要是讨论生长机理和结构特性的检测与分析。