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CVD金刚石膜抛光新技术

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摘要

提出了一种新的CVD金刚石膜抛光技术.金刚石膜表面被预先涂覆一层导电金属,然后采用电蚀方法对该表面进行加工,使金刚石膜突起的尖峰被迅速去除.加工中金刚石表面的石墨化使电蚀加工得以不断延续.采用CVD金刚石膜抛光新技术,可以高效率地完成对CVD金刚石膜的粗抛光.

著录项

来源
《新技术新工艺》 |2001年第6期|41-42|共2页
作者
郭钟宁; 王成勇; 刘晓宁; 匡同春;
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作者单位

广东工业大学 510090;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属腐蚀与保护、金属表面处理;
关键词
金刚石膜; 抛光; 电蚀加工;

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