离子束混合技术制备低温导热减震器材料的研究

摘要

采用离子束混合技术,将具有良好导热性能的金属Ag沉积在具有良好减震性能的金属Cu上,将100keV的Ar+注入Ag-Cu基合金中,研究离子注入对Ag-Cu基合金界面混合的影响.分析结果表明:当Ar+注入剂量达1×1016 ion/cm2时,Ag与Cu基合金界面出现明显的过渡层,界面实现原子级混合.利用该方法获得在低温时具有良好表面导热及减震性能的复合材料,并根据此原理,应用全方位离子注入增强沉积技术,制备出低温导热减震器.