两面顶技术低温超高压烧结AlN陶瓷的研究

摘要

研究了掺杂不同质量分数的Y2O3的AlN陶瓷在超高压状态下烧结的第二相组成和微观结构.研究表明,Y2O3是有效的低温烧结助剂,在低温超高压烧结下,掺杂不同比例烧结助剂的AlN陶瓷的第二相均为Al5Y3O12,在4.4×103 MPa,1 500℃,1 h的实验条件下,超高压烧结AlN陶瓷有着较好的微观结构,热导率可达到130 W/(m·K).