阳极氧化铝电路基板制备的研究

摘要

在添加羧酸和有机化合物的硫酸电解液中,采用阳极氧化的方法制备了电路铝基板衬底,研究了电流密度和氧化时间对氧化膜厚度和硬度的影响.利用X射线,SEM分析了氧化膜的物相组成和表面微观结构,并对其电绝缘性能进行了测试.结果表明,所获得的氧化膜是由非晶态的A12O3以及少量晶态γ-Al2O3组成,呈致密的网状结构,其电学性能满足基板的要求.