钛合金双层辉光等离子体渗钽工艺的研究

摘要

利用双层辉光等离子渗金属技术,以纯钽作为源极,氩气为工作气体,利用不等电位空心阴极效应,在钛合金表面进行渗钽试验研究.用扫描电子显微镜(SEM)观察分析了钛钽合金渗层的截面形貌.用显微硬度仪测量渗层的显微硬度.结果表明,在Ti6A14V合金基材表面成功形成钛钽合金扩散层约为10μm厚.表面显微硬度值达到530 HV.工艺参数对渗钽层的厚度有较大影响,渗钽最佳工艺参数范围为工件电压550～600 V,源极电压850～900 V,极间距15～40 mm,温度800～900 ℃.