化学机械抛光中抛光垫材料的研究与展望

摘要

在化学机械抛光中,抛光垫的材料是重要影响因素之一,它直接影响着抛光效果.本文介绍了化学机械抛光垫的基本材料、材料特性及其对抛光效果的影响,目前化学机械抛光加工中所采用的抛光垫材料及主要用途,对各种抛光垫材料在抛光过程中存在问题进行了分析,同时展望了抛光垫材料的发展趋势.