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化学机械抛光垫沟槽形状的研究及展望

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摘要

在化学机械抛光过程中,沟槽形状是抛光垫性能的重要影响因素之一,它会直接影响抛光效果.本文介绍了化学机械抛光垫上沟槽的基本形状及其对抛光效果的影响,以及不同复合形状的抛光垫沟槽及其对抛光效果的影响,并就研究中现存的主要问题提出展望.

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来源
《新技术新工艺》 |2010年第7期|62-65|共4页
作者
姚蔚峰; 邓乾发; 胡永亮; 范红伟; 刘盾; 袁巨龙;
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作者单位

浙江工业大学,超精密加工研究中心,浙江,杭州310014;

浙江工业大学,超精密加工研究中心,浙江,杭州310014;

浙江工业大学,超精密加工研究中心,浙江,杭州310014;

浙江工业大学,超精密加工研究中心,浙江,杭州310014;

浙江工业大学,超精密加工研究中心,浙江,杭州310014;

浙江工业大学,超精密加工研究中心,浙江,杭州310014;

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正文语种 chi
中图分类抛光;
关键词
化学机械抛光; 抛光垫; 沟槽形状;

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