导航定位技术（自主式导航系统与组合导航）（续11）

摘要

MEMS inertial sensor用精密机械、微电子、半导体集成电路工艺等制作成的微小型陀螺和加速度计。微机械惯性传感器具有体积小(毫米级)、重量轻(仅为1mg)、功耗小(1mW左右)、启动快(1s左右)、成本低(可以大批生产，每个仅1美元左右)、