集成微型光学机械激光束偏转器

摘要

我们将介绍一种微型激光束偏转器，此种偏转器是完全集成在硅基质上。这种设计由一个圆柱透镜转向系统和一组静电刷组成。为了提供简单的技术工序和加宽操作的波长范围，机械和光学部分都被刻蚀在硅石层中。而且，与硅表面微型机加技术结合的设计能使700多块芯片集成在直径为100mm的晶片上。