硅微谐振式加速度计技术现状及展望

摘要

硅微谐振式微加速度计是各种MEMS加速度计中被普遍看好并期待为将来的高精度微加速度计发展的一个重要方向,正在全世界范围内被广泛研究.本文对硅微谐振式微加速度计的发展现状进行了评述.根据国内外不同的技术实现,诸如工作原理、微加工工艺实现、应用范围等对其进行了分类阐述.最后,对硅微谐振式加速度计研究中一些关键技术进行了讨论,并提出了展望.