静电悬浮微机械加速度计检测电路设计

摘要

静电悬浮微机械加速度计通过静电力把质量块无接触的悬浮起来,具有极高的分辨率。一般采用差动电容式位移检测的方式来精确检测质量块在电极腔内的运动,然后在通过悬浮控制系统来实现六自由度的有源悬浮。针对该电容的检测,本文介绍了一种基于环形二极管解调的单频载波公共激励电极电容式多路位移检测方案,并进行了设计仿真与实验测试,实验测得电路灵敏度达4.78V/pf,结果表明该方案可以应用于静电微加速度计的测控系统中。