薄膜内应力的分析和计算

摘要

应用凝聚体的改进的ＴＦＤ理论和弹性力学方法分析了薄膜内应力的产生机制，给出了理论上计算内应力值的方法。指出薄膜内应力主要是界面电子运动连续条件的必然结果，并给出与实测应力值一致的理论预测结果。