具有丝织构TiN薄膜弹性常数的计算

摘要

在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时,因弹性呈现各向异性常发生dsin2ψ测试曲线的非线性振荡,无法得到准确的应力值.利用Voigt,Reuss和Kroner模型计算了具有丝织构的TiN薄膜的弹性矩阵和X射线弹性常数.计算结果表明当材料具有较强的丝织构时,材料弹性矩阵的对称关系从立方对称转变为六方对称关系,与各向同性同种材料的弹性矩阵相差大,相同分量的值一般相差在13～20GPa 之间;而X射线弹性常数的计算结果差异更大,最大相对误差可达17%.