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钟莹; 张国雄; 李醒飞;
天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室;
谐振器; 加速度测量; 力学量传感器; 硅微机械加工; 加速度计; 结构设计; 仿真估算; 体硅工艺;
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究(英文)
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究
机译:挤压薄膜空气阻尼比分析硅电容微机械加速度计
机译:谐振式硅-硅接触式引入振动检测器中的实验性分形不稳定性带
机译:基于光强度调制的厚多晶硅表面微机械加速度计。
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:硅微机械加速度计/地震计及其制造方法
机译:非谐振式两光子吸收材料和非谐振式两光子发射材料,以及使用相同方法的非谐振式两光子吸收诱发方法和非谐振式两光子发射方法
机译:非谐振式两光子吸收材料,非谐振式两光子发光材料以及使用相同的方法来吸收或产生非谐振式两光子的方法
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