一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计

摘要

设计了一种新型横向接触式微机械RF开关,描述了其结构和工作原理．采用以电镀为主的工艺流程,并利用SU8光刻胶实现特殊器件结构,可实现Post-CMOS集成．利用模拟软件CoventorWare 2004和MEMS Pro 5．0 (包含 ANSYS 8．0)协同设计,对该器件进行了静态、模态和瞬态分析,得到吸合电压和吸合时间等重要性能参数．尤其在瞬态分析时运用了集总参数建模的方法,简化了计算．该器件的吸合电压低于30 V,在驱动电压为50 V的情况下,吸合时间达到16．1 ms．