2-DOF精密定位平台的几何误差分步辨识方法

摘要

针对一种2-DOF精密定位平台,基于误差迭代法与最小二乘法,提出一种几何误差分步辨识方法.对于给定的期望末端位置,采用迭代法计算出实际的主动关节位置,同时基于含有误差的精确的运动学逆解方程计算期望的主动关节位置,建立几何误差辨识方程;采用最小二乘法求解运动学模型中包含的所有几何误差.采用这种方法,只需测量末端平台沿x轴和y轴方向的位置误差,即可辨识各种几何误差以及末端平台沿z向的转动误差.实验结果表明,采用提出的几何误差分步辨识方法可有效补偿平台在平面内的位置误差,使其标定后的绝对定位误差小于6,μm.