SWCNT气体传感器的NO2气敏特性

摘要

为了提高NO2气体检测的灵敏度和速度，以单壁碳纳米管（SWCNT）为装配介质，采用介电电泳方法获得单壁碳纳米管场效应晶体管（SWCNT—FET）作为气体传感器检测装置，通过原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）表征，结果显示，利用介电电泳方法能够成功地把SWCNTs装配到芯片的源漏两极间；通入NO2气体前后电特性变化情况的测试结果表明，选择接入电场频率为2MHz，峰峰值电压10V，介电电泳持续时间10s时，制备出SWCNT—FET成功率高，通入NO2气体后的电导率增加三个数量级。利用紫外光持续照射10min，SWCNT上的气体分子解附，使气体传感器可重复利用。