多层纳米TiN-Al-Ag涂层的摩擦性能研究

摘要

为了探究纳米多层涂层在不同载荷下的摩擦磨损性能,采用多靶位磁控溅射的方式制备Ag、Al隔断的TiN多层纳米涂层.采用SEM、EDS、XRD等对涂层的物理化学性质及表面微观形貌进行研究,采用球面摩擦磨损试验机对涂层摩擦磨损性能进行测试.实验结果表明:涂层中出现较多TiN、Ti-Al间化合物与单质金属相,载荷为2 N时涂层摩擦系数仅为0.092,不同载荷下涂层磨损改善分别为20％、53.40％、87.30％、60.20％.随着载荷增加,涂层的裂纹逐渐减少,磨粒磨损增加,并且随着载荷增加,涂层的剥落减少,犁沟的数量增多,深度减少.