单晶铜四棱锥光功能织构模芯的切削晶面设计及表面质量评价

摘要

四棱锥光功能织构模芯加工质量决定其压印织构膜的表面质量.分析单晶铜各个晶面的结合力,采用结合力最小的(111)晶面构建四棱锥织构的4个侧面,并规划四棱锥织构模芯的切削方案.选择不同基准面加工单晶铜样件,得到(100),(110)和(111)三种晶面的平均表面粗糙度分别为:8.19 nm,9.75 nm,6.08 nm.分析得出4个侧面均为(111)晶面的四棱锥光功能织构模芯表面质量最佳,其平均粗糙度可达6.57 nm,利用逆反射比表面积Ks评价其形状误差,Ks值平均为96.6％,满足四棱锥光功能织构模芯的加工质量要求.