微透镜阵列慢刀伺服金刚石车削位置精度的研究

摘要

为了进一步提高超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的加工精度,采用实验的方法,通过分组加工法加工了矩形口径微透镜阵列和六边形口径微透镜阵列,分析了不同微透镜口径对超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的位置精度的影响.实验结果表明:六边形口径微透镜阵列的位置精度更好,且位置精度波动比矩形口径微透镜阵列要小,其整体位置精度范围为0.3～2.1μm,第一圈位置精度范围为1.7～1.9μm,第二圈位置精度范围为0.3～1.2μm,中心透镜对四周的位置误差范围为1.5～2.1μm.