首页> 中文期刊> 《组合机床与自动化加工技术》 >研发面向MEMS加工的高精度定位系统的必要性

研发面向MEMS加工的高精度定位系统的必要性

AI论文写作 >>

开具论文收录证明 >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

集成电路是现代信息社会经济发展的基础和核心,文章从IC产业的发展过程和现状出发,指出MEMS的微连接和系统组装已成为影响MEMS发展的关键技术.结合国内外用于MEMS系统微组装的高速高精度定位系统的研究现状与趋势提出,研发面向MEMS加工的高速高精度定位系统是推动MEMS发展的重要基础.

著录项

来源
《组合机床与自动化加工技术》 |2004年第12期|1-2,8|共3页
作者
冯晓梅; 张大卫;
展开▼
作者单位

天津大学,机械工程学院,天津,300072;

军事交通学院,天津,300161;

天津大学,机械工程学院,天津,300072;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械工厂（车间）;
关键词
微电子封装; 芯片加工; 精密定位系统;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于高精度MEMS惯性器件的多传感器融合定位系统的设计与研究 [J] . 高小鹏 . 物联网技术 . 2021,第007期
2. 高精度配网单相接地故障检测与定位系统研发 [J] . 刘红文 ,郭辉 ,王科 . 电气技术 . 2020,第001期
3. 深圳先进院研发出新一代高精度室内定位系统 [J] . . 广东科技 . 2016,第3期
4. 哈工程研发高精度“超短基线定位系统” [J] . 岳海罪 . 科技中国 . 2014,第011期
5. 面向MEMS的微细加工技术 [J] . 罗均 ,谢少荣 ,龚振邦 . 电加工与模具 . 2001,第005期
6. 关于便携式二氧化碳吸收剂测定仪研发的必要性和研发思路的探讨 [C] . 王汝柱 . 第一届全国安全生产应急救援技术装备研讨会 . 2008
7. 面向MEMS封装的高速高精度机器人系统的研究 [A] . 丁庆勇 . 2005

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号