微电容式加速度计的闭环控制技术研究

摘要

为提高微电容式加速度计的线性度和工作带宽,在设计微电容式加速度计的检测电路时,要使系统工作在闭环状态下,通过静电力反馈的方式能很好的实现闭环控制.本文主要论述了闭环控制的原理,即通过静电力反馈来实现平衡控制.并通过计算保证了闭环控制系统的稳定性.可见,闭环工作下的电容式加速度计的稳定性、精度、线性度等都得到了提高.