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王大文; 白春礼;
中国科学院化学研究所;
北京100080;
抗蚀膜; 微加工; 隧道电流; 电子能量; 电子束; 临界高度; 高电流密度; 有机化合物; 法拉第电流; 原子;
机译:用于BioMEMS的硬微加工和软微加工:综述微流控技术和药物输送中的技术和应用实例。
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机译:纳秒激光诱导隧道和原子沉积 - sTm在纳米加工中的应用
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