电化学纳米印刷术用于制造金属连接件

摘要

美国伊里诺伊州立大学的研究人员开发出了简单易行的电化学工艺用于金属互连线及其他纳米结构的直接布线。这种称之为S4技术的工艺，首先用聚焦离子束在冲压模具上刻出所需图形，模具由硫化银之类的超离子材料制成。超离子材料中，金属离子几乎可以在晶格中自由运动。