一种雷达微带天线单元的工艺实现

摘要

提出了一种用于雷达的微带天线单元的工艺设计及其实现。使用铜箔厚度为１８μｍｍ的衬铝板，通过工艺线宽设计，合理选择工艺参数，使用湿法刻蚀，抵消了侧腐蚀的影响，成功地制造出了面积为３３０ｍｍ×３３０ｍｍ的微带天线单元，其精度为＋０．０１￣－０．０３ｍｍ，满足了具体雷达的电讯设计要求。