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李正平; 徐超; 谭守标; 代广珍;
安徽大学,电子科学与技术学院,安徽,合肥,230039;
设备驱动程序; Langmuir探针; 扫描电源; 等离子体;
机译:脉冲真空电弧等离子体的径向和角度分辨Langmuir探针诊断%脉冲真空电弧等离子体的径向和角度分辨Langmuir探针诊断
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机译:Langmuir Langmuir探针
机译:用于扫描探针显微镜的探针单元,用于测量例如半导体结构的沟槽结构的侧壁的表面粗糙度,具有设计成圆盘的探针尖端,其中圆盘的高度小于半径的特定百分比
机译:用于移动扫描探针显微镜,特别是扫描力显微镜的探针的扫描探针驱动单元,具有用于将探针支架与探针固定的探针安装支架,其中探针支架致动器用于移动探针支架
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