基于LabView的调焦伺服控制系统

摘要

为了提高在激光直写设备中光刻系统的写入精度,对光探头调焦系统进行了研究.提出一种应用LabView实现伺服调焦系统的方法.其中,详细介绍了光学临界角法检焦的实现原理,分析了在检焦过程中出现的探测器暗电流过大,杂散光干扰以及对称性差等问题.最后阐述了如何利用强大的图形化编程工具LabView实现数据的分析、计算及驱动PZT(压电陶瓷)的过程.整个系统经实地验证,取得了良好的效果,精度可达到0.2μm.