晶圆搬运机器人运动学分析与仿真

摘要

本文选择实验室里的SCARA型搬运机器人作为研究对象,对其进行运动学分析与仿真。首先利用改进型MDH参数法建立各连杆的坐标系,确定D-H参数。接着推导出其运动学方程,利用MATLAB Robotics Toolbox进行运动仿真分析,验证模型的正确性,并使用蒙特卡洛法绘制出末端执行器的工作空间。最后,选择代数法进行逆运动学分析计算,得到运动学逆解,并在MATLAB中将求解过程封装成函数。通过此函数随机输入给定位姿都能得到给定位姿对应的最优逆解,证实了逆解算法的正确性。结果表明,对该晶圆搬运机器人的运动学分析正确,为后续的运动学标定与误差补偿奠定了坚实的理论依据。