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矢量扫描微立体光刻技术研究进展

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摘要

阐述了矢量扫描微立体光刻技术中表面束缚技术及自由表面技术的基本原理;分析了提高空间分辨率的解决措施和研究动态.简要阐述了该技术在制造原型、微系统部件及微流体装置等方面的应用.

著录项

来源
《矿山机械》 |2006年第4期|122-124|共3页
作者
于成龙; 王秀峰; 江红涛; 单联娟;
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作者单位

陕西科技大学材料科学与工程学院;

陕西;

咸阳;

712081;

陕西科技大学材料科学与工程学院;

陕西;

咸阳;

712081;

陕西科技大学材料科学与工程学院;

陕西;

咸阳;

712081;

陕西科技大学材料科学与工程学院;

陕西;

咸阳;

712081;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
矢量扫描; 微立体光刻技术; 微制造; 快速原型制造;

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