VLSI／ULSI制造中颇具前景的涂敷介质成膜技术

摘要

本文不目前国际上流行的两种最为主要的旋涂成膜材料－光敏聚酰亚胺和ＳＯＧ的理化性能，使用特点及其国内相关技术现状与今后的发展情况加以综述。