SOI技术进入工业开发时代

摘要

本文叙述了SOI衬底材料的加工和检测技术，特别着重介绍了已取得惊人进展的SIMOX（separation by implantation of oxygen)和BESOI（Bonding and etchback SOI)技术。论述了SOI衬底在抗辐射电路、ULSI、高温器件、双极和BICMOS器件、微波器件、高电压及功率器件、智能传感器、光电子器件的应用。最后讨论了SOI衬底材料器件在工业开发阶段存在的问题，并展望SOI技术的前景。