注氮TiN镀层的背散射和透射电镜分析

摘要

用100keV的N^+注入表面镀有TiN的H31钢(0.35C 6Cr 1.5MoV)。背散射(RBS)测量表明,中能氮离子注入能使Fe—TiN界面区的Fe、Ti发生明显的原子混合。镀层横截面的透射电镜(TEM)研究证明,N^+注入不仅消除了镀层中的大颗粒Ti,细化了TiN晶粒,而且使界面区的α—Ti向δ—TiN、εTi_2N混合相转化。最后指出了使镀层磨损性能得到改善的原因。