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一种PDMS微混合器的制备及性能分析

             

摘要

介绍了一种用于微生化分析仪的PDMS(polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微混合器的模压制备,由于其兼有混合器与比色皿的功能,因此,对其透光及混合性能进行了分析.经实验证明,制品中经常出现的变形、气泡、条纹等缺陷均会使混合器的透射比变差,且缺陷越多光学性能越差.而所制作的PDMS混合器透光面的光学性能优秀,在340 nm的透射比达到90%,能够满足微生化分析仪的紫外、可见光检测要求.对膜厚为50μm的ψ6 mm PDMS混合器进行定量检测发现,当驱动电压为3 V,驱动频率为80 Hz时,在5 s内能达到很好的混合效果.

著录项

  • 来源
    《微细加工技术》 |2006年第2期|49-53|共5页
  • 作者单位

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;

    中国科学院,研究生院,北京,100039;

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 半导体器件制造工艺及设备;无机分析;
  • 关键词

    微混合器; PDMS; 模压; 透射比; 混合;

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