电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析

卢文娟; 张玉林; 孔祥东

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电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析

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从高分子辐射化学的角度对电子束环氧基负胶曝光的实际反应机理进行了深入的分析研究.通过Charlesby-Pinner关系式推导得出辐射交联反应中一些表征量(溶胶分数等)与辐射剂量的定量关系.通过SDS-Ⅱ型曝光机对环氧Epoxy1618进行曝光实验,验证了上述结论的准确性,该论证结果用于指导电子束曝光参数的选取.

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来源
《微细加工技术》|2007年第5期|1-4,30|共5页
作者
卢文娟; 张玉林; 孔祥东;
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作者单位

山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061;

山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061;

东营职业学院,山东东营,257091;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
电子束负胶; 环氧基团; 辐射交联; 溶胶分数; charlesby-Pinner关系式;

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