硅集成电路的现状及21世纪的基本趋势

摘要

ＩＣ已有３９年发展历史。有人曾预测硅技术已接近发展极限，引起人们关注。在这世纪之交的数年内，ＩＣ如何发展。本文对ＩＣ技术以及ＩＣ水平的现状和基本趋势作出了试析，并对ＩＣ前沿技术的发展提出了看法。