发展中的BiCMOS技术

摘要

ＢｉＣＭＯＳ技术将双极器件和ＣＭＯＳ器件有机结合起来，充分发挥它们各自长处，使其既具有双极电路高速，强驱动能力的优点，又具有ＣＭＯＳ高集成度，低功耗的优点，已成为ＬＳＩ和ＶＬＳＩ电路的重要发展方向。本文论述了ＢｉＣＭＯＳ技术在亚微米领域中的发展及其器件性能，并阐述了该技术在高密度存储器中的应用，指出为了使我国集成电路大生产技术腾飞，在亚微米领域中发展ＢｉＣＭＯＳ技术有着特殊的意义。