陷阱电荷对氧化层注入电场的影响

摘要

Ｅ２ＰＲＯＭ在反复擦／写过程中会产生陷阱中电荷，对耐久性产生不良的影响，本文详细研究了氧化层中陷阱电荷的数量位置，对氧人层注入电场的影响，为系统研究Ｅ＾２ＰＲＯＭ的耐久性提供了理论依据。