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采用外接恒流源对注入机进行剂量校准

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本文作者采用KEITHLEY 220型可编程电流源对半导体生产中的关键工艺设备EATON NV6200A进行剂量校准,确保离子注入设备的精确计量.本文对于测试原理及校准过程作了详细论述.目前这一监控手段已用于实际生产,对工艺参数控制有一定的指导意义.

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来源
《微电子技术》 |2002年第3期|54-56|共3页
作者
谢一强; 李红征;
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作者单位

信息产业部电子第五十八研究所,无锡,214035;

信息产业部电子第五十八研究所,无锡,214035;

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正文语种 chi
中图分类测试和检验;
关键词
剂量; 束流; 区域; 束流放大器(简称BCA);

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