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估算晶圆有效芯片数的椭圆公式

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IC生产线开发新品和核算成本时,需要估算晶圆上有效芯片数.靠经验公式估算通常有较大误差.作者曾提出一个精确的计算晶圆上有效芯片数的椭圆公式[1],适合于大规格晶圆和高成品率的生产线上应用.本文给出了椭圆公式的推导过程.

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来源
《微电子技术》 |2003年第5期|5-8|共4页
作者
石林初;
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作者单位

无锡华润微电子有限公司,无锡,214061;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计与计算 ;
关键词
有效芯片数; 核算成本 ; 椭圆公式;

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