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意法半导体; 微扬声器; MEMS; 技术; 硅; 科技企业; 合作协议; 创新型;
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机译:意法半导体,销售额增长2%MEMS等的增长
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机译:利用气室的全硅MEMS微型扬声器的概念和验证
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机译:基于硅的MEMS微扬声器
机译:单晶硅柔性带,用于绝缘体上硅(SOI)材料上的微镜和MEMS组装
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