基于PSD器件的激光位移测距系统设计

摘要

提出了一种基于滨松S3931型号PSD器件和飞思卡尔Kinetis K60系列微控制器的激光位移测距系统。该测距系统主要利用了光学三角测量法的工作原理,将被测位移量通过光路系统转换为相应的微弱电信号,再由微弱电信号处理电路,经过放大、滤波、信号处理、A/D采集等一系列处理后,转换为实际位移量,并在LCD液晶显示屏上显示。本系统能够实现±5mm范围内位移的快速测量,测量精度为30μm,可以用于精密仪器尺寸测量、物体表面平整度检测等。