EMS器件的计算机辅助设计方法和仿真研究

摘要

MEMS技术的进一步发展依赖于MEMS器件计算机辅助设计的发展和水平的提高。系统级仿真和多能量场耦合是MEMS器件计算机辅助设计的核心环节。提出了一种MEMS器件设计的参考方法，并对系统级仿真这一难点做了深入阐述。