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用TCAD进行IC新工艺的开发

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摘要

文章对集成电路工艺计算机辅助设计系统(TCAD虚拟FAB系统)做了简要介绍,指出了TCAD在新工艺开发中的地位,提出了利用TCAD进行新工艺开发的思想.以synopsys公司的TWB虚拟FAB系统为例,对TCAD用于新工艺的开发作了探讨,并给出了以此为平台进行700V高压BCD工艺设计的实例.

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来源
《微计算机信息》|2006年第28期|131-133,169|共4页
作者
关彦青; 程东方; 王邦麟;
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作者单位

200072,上海,上海大学微电子研究与开发中心;

200072,上海,上海大学微电子研究与开发中心;

200072,上海,上海大学微电子研究与开发中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
虚拟FAB; 工艺辅助设计; 高压BCD工艺;
入库时间 2023-07-24 16:33:28

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